6月19日上午,东南大学MEMS教育部重点实验室创建主任,国家杰出青年科学基金获得者、IEEE Fellow黄庆安教授应邀为我院“芯耀江海微电讲坛”作第4期学术报告,报告的题目是《MEMS技术与产业发展》。
学术报告之前,黄庆安教授与信息科学技术学院杨永杰院长及学院各科研团队负责人做了简短的学术交流,并就与会老师提出的关于科研工作中的一些难点问题提出了建设性的意见。
报告从MEMS技术与产业发展历程,透析美国高技术的研发:既有原创性研究(0到1)又能产出高科技产品(卡脖子)。重点是MEMS里程碑技术(表面微加工、硅各向异性刻蚀、阳极键合、晶圆键合、DRIE、多孔硅外延、硅迁移技术等)和器件原型到商业化过程(压力传感器、加速度计、陀螺、麦克风、DMD、GLM、IRFPA、振荡器、RF开关、FBAR、PMUT、气相色谱、心衰监测等),并探讨需要改进的研发范式。
互动环节,师生们就相关学术问题进行了深入交流。黄教授耐心解答了大家的疑问。
报告由学院副院长(主持工作)赵继聪主持,学院教师、研究生、高年级本科生聆听了报告。
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黄庆安,东南大学MEMS教育部重点实验室创建主任(2001-2018)。国家杰出青年科学基金获得者(2003),“长江学者奖励计划”特聘教授(2004),IEEE Fellow(2016)。
曾任国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项指南编制专家(2016-2020), “十二五”国家863计划微纳制造技术主题专家组召集人,“十五”国家863计划MEMS重大专项总体专家组成员,国家自然科学基金委员会第13届信息科学学部专家评审组成员。现任中国微米纳米技术学会副理事长、《Journal of Micromechanics and Microengineering》编委、《传感技术学报》主编。
以第一获奖人获国家科技进步二等奖1项,教育部自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项,江苏省科学技术一等奖1项。